NIST 標準參考物質粒度校準

NIST SRM粒度標準是世界範圍內已知的校準標準，可用於需要NIST SRM（尺寸參考材料）尺寸標準且具有極其精確的尺寸，窄尺寸峰和窄標準偏差的任何應用。 它們可用於校準和驗證各種粒子篩分設備，包括光散射儀，電子顯微鏡和差動遷移率分析儀。 它們對於校準表面掃描檢查系統特別重要，該系統用於檢測和表徵矽晶片上的缺陷。 需要精確的參考粒子來開發和推進掃描系統，以實現高產量，具有成本效益的晶圓生產，這對於設備小型化至關重要。 參比顆粒也可用於提供用於測試氣溶膠儀器的單分散（單峰）顆粒，可用於檢查氣溶膠動力學和評估顆粒檢測器的響應。

模態直徑的認證值：

60 nm SRM 1964 聚苯乙烯微球為 60.39 nm，擴展不確定度為 ± 0.63 nm；

100 nm SRM 1963A 聚苯乙烯微球為 101.8 nm，擴展不確定度為 ± 1.1 nm；

269 nm SRM 1691 聚苯乙烯微球為 269 nm，擴展不確定度為 ± 4 nm；

895 nm SRM 1690 聚苯乙烯微球為 895 nm，擴展不確定度為 ± 5 nm。

使用差分遷移率分析進行測量，並且可追溯到空氣中的He-Ne激光波長632.807 nm，這是根據長度的基本標準確定的。

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