預混合的Surf-Cal,PSL球,用於晶圓檢測系統的粒度校準
PSL球,聚苯乙烯乳膠,Sur-Cal粒度標準
SURF-CAL PSL球體通過在50ml瓶中提供預混合的PSL球體,簡化了在工廠中準備校準晶片的工作。 顆粒尺寸對應於儀器製造商要求的校準點尺寸。 顆粒濃度為每毫升1 x 10 e10個顆粒。 SEMI製造商要求在校準掃描表面檢查系統(也稱為晶圓檢查工具)時使用特定的顆粒尺寸。 SURF-CAL PSL球與儀器製造商合作,符合SEMI標準M52(3)和M53準則。 可用大小是國際半導體技術路線圖ITRS(1)定義的關鍵尺寸節點。
通過在裸露的矽和圖案晶片上沉積SURF-CAL,NIST可追踪的PSL(聚苯乙烯乳膠)球,您可以對KLA-Tencor,Hitachi,ADE,Topcon SSIS工具執行定期的尺寸校準檢查,並將晶片檢查掃描儀與掃描儀進行比較其他位置。 您還可以在製造過程的關鍵階段評估SSIS的性能。
將所有產品以每毫升50 x3顆粒的濃度懸浮在1010 mL瓶中的去離子過濾水(去離子水)中。 這些PSL球已通過差分遷移率分析器(DMA)或其他尺寸排除技術確定了尺寸。
測量方法:
為確保NIST的可追溯性,通過透射電子或光學顯微鏡從NIST標準參考材料(2)轉移了這些產品的認證直徑。 使用NIST技術說明1297,1994年版“評估和表示NIST測量結果的不確定性指南”(4)計算不確定度。 列出的不確定度是擴展不確定度,覆蓋因子為2(K = 2)。 使用粒徑分佈的大約±XNUMXs範圍計算峰直徑。 大小分佈計算為整個峰的標準偏差(SDS)。 變異係數(CV)是一種標準偏差,表示為峰直徑的百分比。 FWHM(半峰全寬)分佈計算為峰高一半處的分佈,以峰直徑的百分比表示。
1.“國家半導體技術路線圖”,半導體工業協會(1999年)
2. SD Duke和EB Layendecker,“通過電子顯微鏡對亞微米球形顆粒尺寸進行校準的內標方法”,精細顆粒學會(1988)
3。 SEMI M52 —用於指定X晶片130 nm技術的矽晶片表面檢查系統的指南。
4. Barry N. Taylor和Chris E. Kuyatt,“評估和表達NIST測量結果不確定性的準則”。 NIST技術說明1297,1994年版,1994年XNUMX月。
顆粒成分 | 聚苯乙烯乳膠,PSL球,粒度標準 |
濃度 | 1 x 10e1010 每毫升顆粒 |
粒子密度 | 1.05 g /cm³ |
折射率 | 1.59 @ 589nm(25°C) |
填充量 | 50 mL |
內容 | 去離子過濾水中的聚苯乙烯微球 |
截止日期 | ≤12個月 |
PSL球,SURF-CAL粒度標準 | ||||
產品零件號 | 認證峰值直徑 | 標準偏差 | CV和FWHM | 50 mL容量瓶中的每毫升顆粒 |
AP-PD-047B | 47納米 | 4納米 | 7.5%,17.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-064B | 64納米 | 3納米 | 5.4%,10.9% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-083B | 83納米 | 4納米 | 4.2%。 9.6% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-092B | 92納米 | 4納米 | 4.6%,9.1% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-100B | 100納米 | 3納米 | 2.6%,5.2% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-125B | 126納米 | 3納米 | 2.4%,4.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-155B | 155納米 | 3納米 | 1.6%,3.7% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-200B | 202納米 | 4納米 | 1.8%,4.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-204B | 204納米 | 4納米 | 1.8%,3.7% | 1 x 10 e10 |
AP PD-215B | 220納米 | 3納米 | 1.6%,3.3% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-305B | 304納米 | 4納米 | 1.4%,3.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-365B | 360納米 | 10納米 | 1.3%,2.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-500B | 498納米 | 6納米 | 2.0%,5.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-800B | 809納米 | 6納米 | 0.8%,1.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-802B | 802納米 | 9納米 | 1.1%,2.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1100B | 1.112μm | 11納米 | 1.0%,2.5% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1600 | 1.59μm | 16納米 | 1.0%,2.6% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-2000 | 2.01μm | 19納米 | 1.0%,3.3% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-3000 | 3.04μm | 26納米 | 0.9%,2.7% | 3 x 10 e8 |