Applied Physics USA

聚苯乙烯乳膠珠,粒度標準
Applied Physics 美國:PSL 球、聚苯乙烯微球、粒徑標準

Applied Physics 美國提供 PSL Spheres 和聚苯乙烯珠粒作為氣溶膠儀器校準的粒徑標準。 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、TopCon、ADE 和 Hitachi 等晶圓檢測工具也需要尺寸校準,這是通過使用聚苯乙烯乳膠球來完成的。 PSL 球體、聚苯乙烯微球體和珠子的尺寸從 20 納米到 10 微米不等,用於校準相應晶圓檢測系統和激光粒子計數器的尺寸響應曲線。 從 20 納米到大約 5 微米的 PSL 球通常用於校準激光粒子計數器的尺寸響應。 聚苯乙烯微球可用於生產校準晶圓標準和粒子晶圓標準,用於校準 KLA-Tencor Surfscan 工具和較舊的 Tencor Surfscan 工具的尺寸響應

 

Applied Physics USA

可致電訂購聚苯乙烯乳膠珠 Applied Physics 在(719)428-4042。

晶圓檢測系統,稱為掃描表面檢測系統,SSIS,最著名的是來自 KLA-Tencor 和 Hitachi,使用 PSL 晶圓標准進行校準,這些標準是沉積有特定尺寸和窄尺寸分佈的 PSL 球體的原始矽晶圓。 晶圓檢測工具用於檢測300mm、200mm、150mm晶圓表面的清潔度; 裸矽或薄膜沉積,晶圓表面。 SSIS 可以識別 PSL 球體和顆粒的 X/Y 位置,描述每個缺陷的大小,並總結晶圓表面的總顆粒數。 KLA-Tencor 晶圓檢測系統,例如 Tencor 6200、6420 和 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2 和 KLA-Tencor SP3,在整個半導體行業都用於此應用。 拓普康擁有 3000、5000 和 7000 系列晶圓檢測系統。 Estek、ADE、Aeronca 和 Hitachi 也提供各種晶圓檢測系統。 現在幾乎所有生產的 SSIS 都能夠以 30 nm 或更高的靈敏度檢測粒徑。 PSL Spheres 用於表示晶圓表面的粒度標準。 Applied Physics 提供尺寸從 20 納米到 160 微米的 PSL 球體,用於尺寸校準、HEPA 過濾器測試等。可通過致電訂購 PSL 球體 Applied Physics 在(719)428-4042。

PSL球與PSL晶圓沉積系統一起使用以生成PSL晶圓標準液,也稱為粒子晶圓標準液。 無論哪種情況,在生產PSL晶圓標準之後,將其放在晶圓檢查系統上,並通過單激光SSIS或雙激光SSIS進行掃描。 將實際的PSL大小響應與SSIS大小響應進行比較。 如果兩個峰不匹配,則必須校準SSIS。預混合的高濃度PSL Spheres適用於2300XP1系統,2300 NPT-1系統,2300NPT-2和M2300G3晶圓沉積系統。

PSL球,濃度1%。

預混合的PSL Spheres裝在50ml瓶中,尺寸單分散(1尺寸分佈),尺寸從47nm到950nm。 將此PSL溶液直接倒入霧化器或霧化器容器中。 預混合是購買聚苯乙烯乳膠珠的一種便捷方式,因為所有稀釋均以非常均勻的方式完成,沒有糊塗,沒有大驚小怪,從而使用戶無需使用燒杯,去離子水來混合聚苯乙烯乳膠珠和超聲波托盤。 未混合的PSL材料裝在15ml瓶中,其尺寸為單分散(1尺寸分佈),通常濃度為1%。 這些PSL球有多種尺寸,但出於我們的目的,尺寸從20nm到4um。 在嘗試通過上述PSL晶圓沉積系統之一進行沉積時,必須將PSL材料混合到適當的稀釋度,或者將其濃縮或稀釋得太弱而無法提供有效的結果。 CleanRoom Foggers 鏈接

翻譯»