二氧化矽顆粒晶圓標準品,二氧化矽顆粒尺寸標準品 by 約翰·特納 | 2020 年 2 月 10 日 | 二氧化矽顆粒二氧化矽粒徑標準 在當今的半導體計量實驗室中,晶圓檢測工具使用高功率激光掃描 200 毫米和 300 毫米矽晶圓,以檢測小於 30 納米的表面顆粒。 校準高激光功率掃描時...