Surf-Cal,粒徑標準品,50ml 體積,預混合至 1x10E8 和 1x10E10 濃度/ml
SURF-CAL™ 粒度標準用於掃描表面檢測系統 (SSIS) 的尺寸校準和監測。 以下粒徑對應於儀器製造商要求的校準粒徑。 您應該完成定期校準檢查和每週尺寸和計數監控,以確保您的晶圓檢測掃描儀與其他位置的掃描儀進行比較。 所有聚苯乙烯微球懸浮在 50mL 瓶體積的去離子過濾水中,濃度為 3 × 10 E8 或 1 × 10 E10 顆粒/mL。 標有 * 的尺寸與該直徑的 NIST SRM 顆粒相似。 以下所有聚苯乙烯微球的折射率為 1.59 @ 589nm (25C)。 每瓶可穩定保存 12 個月,並附有校准證書和 NIST 可追溯性證書。
通過在裸矽和圖案晶圓上沉積 SURF-CAL、NIST 可追溯 PSL(聚苯乙烯乳膠)球體,您可以對 KLA-Tencor、Hitachi、ADE、Topcon SSIS 工具執行定期尺寸校準檢查,並將您的晶圓檢測掃描儀與以下掃描儀進行比較其他地點。 您還可以在製造過程的關鍵階段評估 SSIS 的性能。 所有產品均以 50 x3 e10 顆粒/mL 或 10 x1 e10 顆粒/mL 的濃度懸浮在 10 mL 瓶中的去離子過濾水(去離子水)中。 這些 Surf-Cal 粒徑標準品是聚苯乙烯微球,已通過差分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術確定了尺寸。
零件號 |
濃度計數/ml |
粒子直徑 |
尺寸分佈 |
每 50 毫升瓶的價格 |
APPD-047 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.047μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
APPD-047B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.047μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
APPD-064 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.064μm | 0.003μm |
$ 295.00 加進購物車 |
APPD-064B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.064μm | 0.003μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
APPD-083 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.083μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-083B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.083μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-092 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.092μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-092B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.092μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
AP PD-100* | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.100μm | 0.003μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-100B* | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.100μm | 0.003μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-125 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.126μm | 0.003μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-125B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.126μm | 0.003μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-155 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.155μm | 0.003μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-155B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.155μm | 0.003μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-200 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.202μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-200B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.202μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-204 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.204μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-204B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.204μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-215 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.220μm | 0.003μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-215B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.220μm | 0.003μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-305 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.304μm | 0.004μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-305B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.304μm | 0.004μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-365 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.360μm | 0.005μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-365B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.360μm | 0.005μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-500 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.498μm | 0.006μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-500B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.498μm | 0.006μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-800 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.809μm | 0.006μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-800B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.809μm | 0.006μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
美聯社PD-802 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 0.802μm | 0.009μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD-802B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 0.802μm | 0.009μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
AP PD1100 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 1.112μm | 0.011μm |
$ 295.00 加進購物車 |
AP PD1100B | 1 10點¯x10 顆粒/mL | 1.112μm | 0.011μm |
$ 1495.00 加進購物車 |
AP PD1600 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 1.59μm | 0.016μm | $ 295.00 加進購物車 |
AP PD2000 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 2.01μm | 0.019μm | $ 295.00 加進購物車 |
AP PD3000 | 3 10點¯x8 顆粒/mL | 3.04μm | 0.026μm | $ 295.00 加進購物車 |
測量方法:
為了確保 NIST 的可追溯性,這些產品的認證直徑是通過透射電子顯微鏡或光學顯微鏡從 NIST 標準參考材料 (2) 轉移而來的。 使用 NIST 技術說明 1297,1994 版“評估和表達 NIST 測量結果的不確定性指南”(4) 計算不確定性。 列出的不確定性是覆蓋因子為二 (K=2) 的擴展不確定性。 使用約 ± 2s 範圍的粒度分佈計算峰直徑。 大小分佈計算為整個峰的標準偏差 (SDS)。 變異係數 (CV) 是一個標準偏差,表示為峰直徑的百分比。 FWHM(半峰全寬)分佈計算為峰高一半處的分佈,以峰直徑的百分比表示。
1. 《國家半導體技術路線圖》,半導體行業協會(1999)
2. SD Duke 和 EB Layendecker,“通過電子顯微鏡校準亞微米球形顆粒尺寸的內標法”,Fine Particle Society (1988)
3。 SEMI M52 —用於指定X晶片130 nm技術的矽晶片表面檢查系統的指南。
4. Barry N. Taylor 和 Chris E. Kuyatt,“評估和表達 NIST 測量結果不確定性的指南”。 NIST 技術說明 1297,1994 年版,1994 年 XNUMX 月。