Surf-Cal,粒徑標準品,50ml 體積,預混合至 1x10E8 和 1x10E10 濃度/ml

SURF-CAL™ 粒度標準用於掃描表面檢測系統 (SSIS) 的尺寸校準和監測。 以下粒徑對應於儀器製造商要求的校準粒徑。 您應該完成定期校準檢查和每週尺寸和計數監控,以確保您的晶圓檢測掃描儀與其他位置的掃描儀進行比較。 所有聚苯乙烯微球懸浮在 50mL 瓶體積的去離子過濾水中,濃度為 3 × 10 E8 或 1 × 10 E10 顆粒/mL。 標有 * 的尺寸與該直徑的 NIST SRM 顆粒相似。 以下所有聚苯乙烯微球的折射率為 1.59 @ 589nm (25C)。 每瓶可穩定保存 12 個月,並附有校准證書和 NIST 可追溯性證書。

通過在裸矽和圖案晶圓上沉積 SURF-CAL、NIST 可追溯 PSL(聚苯乙烯乳膠)球體,您可以對 KLA-Tencor、Hitachi、ADE、Topcon SSIS 工具執行定期尺寸校準檢查,並將您的晶圓檢測掃描儀與以下掃描儀進行比較其他地點。 您還可以在製造過程的關鍵階段評估 SSIS 的性能。 所有產品均以 50 x3 e10 顆粒/mL 或 10 x1 e10 顆粒/mL 的濃度懸浮在 10 mL 瓶中的去離子過濾水(去離子水)中。 這些 Surf-Cal 粒徑標準品是聚苯乙烯微球,已通過差分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術確定了尺寸。

零件號

濃度計數/ml

粒子直徑

尺寸分佈

 每 50 毫升瓶的價格

APPD-047 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.047μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

APPD-047B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.047μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

APPD-064 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.064μm 0.003μm

$ 295.00   加進購物車

APPD-064B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.064μm 0.003μm

$ 1495.00   加進購物車

APPD-083 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.083μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-083B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.083μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-092 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.092μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-092B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.092μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

AP PD-100* 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.100μm 0.003μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-100B* 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.100μm 0.003μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-125 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.126μm 0.003μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-125B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.126μm 0.003μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-155 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.155μm 0.003μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-155B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.155μm 0.003μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-200 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.202μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-200B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.202μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-204 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.204μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-204B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.204μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-215 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.220μm 0.003μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-215B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.220μm 0.003μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-305 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.304μm 0.004μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-305B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.304μm 0.004μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-365 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.360μm 0.005μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-365B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.360μm 0.005μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-500 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.498μm 0.006μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-500B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.498μm 0.006μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-800 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.809μm 0.006μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-800B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.809μm 0.006μm

$ 1495.00   加進購物車

美聯社PD-802 3 10點¯x8 顆粒/mL 0.802μm 0.009μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD-802B 1 10點¯x10 顆粒/mL 0.802μm 0.009μm

$ 1495.00   加進購物車

AP PD1100 3 10點¯x8 顆粒/mL 1.112μm 0.011μm

$ 295.00   加進購物車

AP PD1100B 1 10點¯x10 顆粒/mL 1.112μm 0.011μm

$ 1495.00   加進購物車

AP PD1600 3 10點¯x8 顆粒/mL 1.59μm 0.016μm $ 295.00   加進購物車
AP PD2000 3 10點¯x8 顆粒/mL 2.01μm 0.019μm $ 295.00   加進購物車
AP PD3000 3 10點¯x8 顆粒/mL 3.04μm 0.026μm $ 295.00   加進購物車

測量方法:

為了確保 NIST 的可追溯性,這些產品的認證直徑是通過透射電子顯微鏡或光學顯微鏡從 NIST 標準參考材料 (2) 轉移而來的。 使用 NIST 技術說明 1297,1994 版“評估和表達 NIST 測量結果的不確定性指南”(4) 計算不確定性。 列出的不確定性是覆蓋因子為二 (K=2) 的擴展不確定性。 使用約 ± 2s 範圍的粒度分佈計算峰直徑。 大小分佈計算為整個峰的標準偏差 (SDS)。 變異係數 (CV) 是一個標準偏差,表示為峰直徑的百分比。 FWHM(半峰全寬)分佈計算為峰高一半處的分佈,以峰直徑的百分比表示。

1. 《國家半導體技術路線圖》,半導體行業協會(1999)

2. SD Duke 和 EB Layendecker,“通過電子顯微鏡校準亞微米球形顆粒尺寸的內標法”,Fine Particle Society (1988)

3。 SEMI M52 —用於指定X晶片130 nm技術的矽晶片表面檢查系統的指南。

4. Barry N. Taylor 和 Chris E. Kuyatt,“評估和表達 NIST 測量結果不確定性的指南”。 NIST 技術說明 1297,1994 年版,1994 年 XNUMX 月。

翻譯»