聚苯乙烯乳膠珠，PSL球

PSL球，聚苯乙烯乳膠珠，粒度標準

Applied Physics 提供 PSL Spheres 和聚苯乙烯乳膠珠作為氣溶膠儀器校準的粒徑標準。 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、TopCon、ADE 和 Hitachi 等晶圓檢測工具也需要尺寸校準，這是通過使用聚苯乙烯乳膠球來完成的。 PSL 球體，聚苯乙烯乳膠珠，尺寸從 20 納米到 10 微米不等，用於校準相應晶圓檢測系統和激光粒子計數器的尺寸響應曲線。 從 20 納米到大約 5 微米的 PSL 球通常用於校準激光粒子計數器的尺寸響應。 PSL 球體可用於生產 PSL 晶圓標準和粒子晶圓標準，用於校準 KLA-Tencor Surfscan 工具和較舊的 Tencor Surfscan 工具的尺寸響應

可以使用 Visa 或萬事達卡訂購聚苯乙烯乳膠珠，請致電 Applied Physics 在（719）428-4042。

晶圓檢測系統，稱為掃描表面檢測系統，SSIS，最著名的是來自 KLA-Tencor 和 Hitachi，使用 PSL 晶圓標准進行校準，這些標準是沉積有特定尺寸和窄尺寸分佈的 PSL 球體的原始矽晶圓。 晶圓檢測工具用於檢測300mm、200mm、150mm晶圓表面的清潔度； 裸矽或薄膜沉積，晶圓表面。 SSIS 可以識別 PSL 球體和顆粒的 X/Y 位置，描述每個缺陷的大小，並總結晶圓表面的總顆粒數。 KLA-Tencor 晶圓檢測系統，例如 Tencor 6200、6420 和 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2 和 KLA-Tencor SP3，在整個半導體行業都用於此應用。 拓普康擁有 3000、5000 和 7000 系列晶圓檢測系統。 Estek、ADE、Aeronca 和 Hitachi 也提供各種晶圓檢測系統。 今天生產的幾乎每個 SSIS 現在都能夠檢測 30 納米或更好的粒徑靈敏度。 PSL Spheres 用於表示晶圓表面的粒度標準。 Applied Physics 提供尺寸從 20 納米到 160 微米的 PSL 球體，用於尺寸校準、HEPA 過濾器測試等。可通過致電訂購 PSL 球體 Applied Physics 在（719）428-4042。

PSL球與PSL晶圓沉積系統一起使用以生成PSL晶圓標準液，也稱為粒子晶圓標準液。 無論哪種情況，在生產PSL晶圓標準之後，將其放在晶圓檢查系統上，並通過單激光SSIS或雙激光SSIS進行掃描。 將實際的PSL大小響應與SSIS大小響應進行比較。 如果兩個峰不匹配，則必須校準SSIS。

預混合的高濃度PSL球適用於2300XP1系統，2300 NPT-1系統，2300NPT-2和M2300G3晶圓沉積系統。

未混合的PSL球，濃度通常為1％。

預混合的PSL Spheres裝在50ml瓶中，尺寸單分散（1尺寸分佈），尺寸從47nm到950nm。 將此PSL溶液直接倒入霧化器或霧化器容器中。 預混合是購買聚苯乙烯乳膠珠的一種便捷方式，因為所有稀釋均以非常均勻的方式完成，沒有糊塗，沒有大驚小怪，從而使用戶無需使用燒杯，去離子水來混合聚苯乙烯乳膠珠和超聲波托盤。 未混合的PSL材料裝在15ml瓶中，其尺寸為單分散（1尺寸分佈），通常濃度為1％。 這些PSL球有多種尺寸，但出於我們的目的，尺寸從20nm到4um。 在嘗試通過上述PSL晶圓沉積系統之一進行沉積時，必須將PSL材料混合到適當的稀釋度，或者將其濃縮或稀釋得太弱而無法提供有效的結果。

粒徑標準品和聚苯乙烯微球乳膠珠來自 Applied Physics Inc. 粒徑標準品和聚苯乙烯乳膠珠來自 Applied Physics 公司