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400 N縣道 2 East，Monte Vista，CO 81144美國

晶圓選項

晶圓尺寸
75mm，100mm，90mm，150mm，200mm，300mm
大約SiO2數量
2500 for Spot Dep; 5000，10000，20000用於全深度
認證
Deps可追溯到NIST，包括尺寸證書
基材材質
優質矽，客戶薄膜晶圓，150mm空白掩模
SiO2尺寸
SC是指SurfCal大小； *尺寸接近NIST SRM標準
40nm認證的平均峰值：40 nm±1 nm
50nm認證的平均峰值：46 nm±2 nm
SC7nm，經SurfCal認證的平均峰47 nm±4 nm
60nm認證的平均峰值：60 nm±4 nm
SC64nm，經SurfCal認證的平均峰64 nm±3 nm
70nm認證的平均峰值：70 nm±3 nm
80nm認證的平均峰值：81 nm±3 nm
SC83nm，經SurfCal認證的平均峰83 nm±4 nm
92nm認證的平均峰值：92 nm±3 nm
SC92nm，經SurfCal認證的平均峰92 nm±4 nm
* 100nm認證的平均峰值：100 nm±3 nm
SC100nm，經SurfCal認證的平均峰100 nm±3 nm
90nm認證的平均峰值：90 nm±3 nm
SC126nm，經SurfCal認證的平均峰126 nm±3 nm
150nm認證的平均峰值：147 nm±3 nm
SC155nm，經SurfCal認證的平均峰155 nm±3 nm
SC202nm，經SurfCal認證的平均峰202 nm±4 nm
200nm認證的平均峰值：203 nm±5 nm
SC204nm，經SurfCal認證的平均峰204 nm±4 nm
216nm認證的平均峰值：216 nm±4 nm
SC220nm，經SurfCal認證的平均峰220 nm±3nm
240nm認證的平均峰值：240 nm±5 nm
* 269nm認證的平均峰值：269 nm±5 nm
300nm認證的平均峰值：296 nm±6 nm
SC304nm，經SurfCal認證的平均峰304 nm±4 nm
350nm認證的平均峰值：350 nm±6 nm
SC360nm，經SurfCal認證的平均峰360 nm±5 nm
400nm認證的平均峰值：400 nm±9 nm
450nm認證的平均峰值：453 nm±9 nm
495nm認證的平均峰值：496 nm±8 nm
SC498nm，經SurfCal認證的平均峰498 nm±6nm
500nm認證的平均峰值：498 nm±9 nm
565nm認證的平均峰值：565 nm±9 nm
600nm認證的平均峰值：600 nm±9 nm
700nm認證的平均峰值：707 nm±9 nm
800nm認證的平均峰值：799 nm±9 nm
802nm SurfCal認證的平均峰802 nm±9 nm
809nm SurfCal認證的平均峰809 nm±6 nm
900nm認證的平均峰值：903 nm±12 nm
994nm認證的平均峰994 nm±21 nm
1um認證的平均峰1.019μm±0.015μm
1.1um認證的平均峰1.101μm±0.017μm
1.1um SurfCal認證的平均峰1.112μm±0.011μm
1.4um認證的平均峰1.361μm±0.015μm
1.6um認證的平均峰1.587μm±0.018μm
1.6um SurfCal認證的平均峰1.59μm±0.016μm
1.8um認證的平均峰1.745μm±0.022μm
2um認證的平均峰1.999μm±0.020μm
2um SurfCal認證的平均峰2.01μm±0.019μm
2.5um認證的平均峰2.504μm±0.027μm
3um認證的平均峰3.002μm±0.019μm
3um SurfCal認證的平均峰3.04μm±0.026μm
4um認證的平均峰4.000μm±0.043μm
5um認證的平均峰4.993μm±0.040μm
6um認證的平均峰6.007μm±0.040μm
7um認證的平均峰6.982μm±0.045μm
8um認證的平均峰7.979μm±0.075μm
9um認證的平均峰8.956μm±0.082μm
10um認證的平均峰10.00μm±0.08μm
12um認證的平均峰12.01μm±0.11μm
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